? 【視頻】晶圓生產線多類型AMR協作應用實例 - 視頻播報 -移動機器人 -新戰略機器人網-工業、服務、AGV機器人產業資訊傳播者

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      【視頻】晶圓生產線多類型AMR協作應用實例

      發布時間: 2022-01-05 09:01:30 來源:捷螺系統

      核心提示: 捷螺系統針對AMHS通過AMR機器人來解決整廠的物料傳輸。

      半導體晶圓制造廠內AMHS( 自動物料搬送系統 - AMHS Automatic Material Handling System)的搬送一般分為Interbay和Intrabay。

      捷螺系統針對AMHS通過AMR機器人來解決整廠的物料傳輸,即晶圓純運輸機器人負責Interbay,作為工序區間搬送系統;復合型手臂機器人負責Intrabay傳輸及對接機臺作業。兩者可相互對接協作,應用于工序區間或工廠間運輸。更加全面實現全廠物料自動搬運。

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